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− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER》(E4)

− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT》(E5)

− 《GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT》(E30)

− 《HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION》(E37)

− 《Standard for Processing Management》( E40)

− 《Equipment Performance Tracking》(E116)

− 《Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface》(E84)

− 《Specification For Carrier Management(CMS)》(E87)

− 《Specification For Control Job Management》(E94)

− Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service》(E39)

− 应无人工厂的需求,买方公司部署AMHS自动上下货机器人,对应对于机台需要支持E84,E87的软硬件功能

− E4:串口点对点通信标准（底层）

− E5:消息数据格式（设备状态，设备控制，物料，配方管理，异常处理等）

− E30：基于E5

− E37：基于TCP/IP，代替E4

− E40：特定物料加工配方程序，定义行为标准

− E116：跟踪设备的状态与性能，提供诊断功能

− E84：物料运输的晶圆传送标准（通过AMHS），并行IO硬件通信接口

− E87：协调carrier进出设备管理标准（检验标识等）

− E94：过程控制

− E39：定义数据结构，提供通用对象的读写服务